臺式低溫循環(huán)泵的冷凍能力因型號而異。1級冷頭降至80K的所需功率為幾十瓦特，2級冷頭降至20K的所需功率為幾瓦特。但真空裝置內(nèi)有蒸發(fā)源或加熱器等熱源。

如圖2表示的是直徑為254mm(10英寸)的面放出的輻射熱量。隨溫度的上升以及輻射率的加大所放出的熱量也隨之增加。由于真空裝置內(nèi)產(chǎn)生的熱量遠遠超出低溫泵的冷凍能力，如這些熱量進入低溫泵的話，會導(dǎo)致低溫泵無法正常冷卻，排氣性能降低。因此當(dāng)真空室內(nèi)存在熱源時，必須對熱源進行隔離及遮擋。

圖2：Φ254mm面放出的輻射熱 輻射率與溫度的關(guān)系

圖3是存在熱源時的安裝例。圖①輻射熱直接入進低溫泵內(nèi)，因此不可采用。(2)、(3)可以采用，但如果熱源的溫度比較高，應(yīng)把經(jīng)反射后進入低溫泵的輻射量也應(yīng)考慮在內(nèi)。

2：有發(fā)熱源時的安裝例

<供參考，低溫泵因輻射熱所承受的熱負荷可由以下公式計算得出。>

Q=εAV?σ?A?(Tw4-T14) (W)

εAV:平均輻射率,σ:玻耳茲曼常數(shù)=5.67X10-12(W/cm2/K4),A:受熱面積(cm2)

Tw:室溫壁的溫度(通常300K), T1:屏蔽筒?擋板的溫度(通常80K)

2. 冷卻水注意事項（水量及水質(zhì)）

低溫泵配套使用的壓縮機有空冷式和水冷式兩種。且向壓縮機輸入的電力幾乎都會轉(zhuǎn)變成熱。

采用空冷式的情況下，這些熱通過空冷扇與熱交換器冷卻。由于空冷式不使用冷卻水，沒有額外的運行成本，也不需要設(shè)置管道。但因產(chǎn)生的熱將全部排放于大氣中，必須使用空調(diào)，

且會產(chǎn)生噪音和塵埃。因此近年來普遍采用水冷式。

水冷式壓縮機的冷卻水的溫度如果過低，壓縮機內(nèi)潤滑油的粘度上升，會導(dǎo)致壓縮機收到運轉(zhuǎn)指令也無法啟動或成超負荷狀態(tài)。

相反冷卻水的溫度過于高或流量少的話，壓縮機的溫度變高或不能正常冷卻，導(dǎo)致熱控開關(guān)動作即壓縮機停止運轉(zhuǎn)。

有關(guān)冷卻水的水溫及流量，請參照使用說明書，保證在規(guī)定范圍內(nèi)使用。如水溫低于10℃時，在停止壓縮機運轉(zhuǎn)的同時也需要停止供應(yīng)冷卻水。

如不停止冷卻水的供應(yīng)，會導(dǎo)致壓縮機啟動困難。在停止時若存在壓縮機內(nèi)的冷卻水會結(jié)冰的可能性，會導(dǎo)致配管破裂非常危險，因此要求進行空壓排水，把壓縮機內(nèi)的冷卻水排掉。

冷卻水要使用不會對配管產(chǎn)生腐蝕作用，且無含水垢等附著物的干凈的水。

水質(zhì)差將會導(dǎo)致配管流徑變窄，流量減少，發(fā)生熱傳導(dǎo)不良導(dǎo)致無法正常冷卻。

另外，如使用對配管有腐蝕作用的冷卻水，熱交換器上將會出現(xiàn)細孔，導(dǎo)致重大事故。

為了熱交換器的壽命延長，保持性能，有關(guān)水質(zhì)標準敝公司參照了日本冷凍空調(diào)工業(yè)會的水質(zhì)標準。由于冷卻水內(nèi)會存在附著沉淀物等，會導(dǎo)致水質(zhì)變差。因此要求定期對水質(zhì)進行檢查和對配管進行清洗。

表1：冷卻水的水質(zhì)標準(參照了日本冷凍空調(diào)工業(yè)會的水質(zhì)標準)

3.低溫泵的運轉(zhuǎn)及運行循環(huán)

低溫泵的運行由以下3個過程組成。

(1)　運行開始　　　　低溫泵的粗抽真空及冷卻降溫

(2)　通常運行　　　　低溫泵對真空裝置進行排氣

(3)　停止運行、再生　低溫泵停止運行和進行再生

1）.運行開始（粗抽真空、冷卻降溫）

4.低溫泵的運轉(zhuǎn)啟動步驟如下。

(1)接通主電源。

(2)壓縮機為水冷式時，供應(yīng)冷卻水。

(3)粗抽至低溫泵內(nèi)壓力達到40Pa為止。(如抽至13～20Pa以下的話，油回轉(zhuǎn)泵內(nèi)的油蒸氣向低溫泵反流，導(dǎo)致低溫泵被油蒸氣污染。)在進行粗抽后通常進行壓力上升測試。

壓力上升速度的推薦界限值為ΔP/Δt≦1.3Pa/min

(4)啟動低溫泵。

(5)待低溫泵達到工作狀態(tài)。滿足以下條件時則說明低溫泵達到了工作狀態(tài):

●15K冷凝板的溫度降至20K以下

●80K屏蔽筒的溫度降至130K(CA熱電偶的起動電壓為-5.5mV)以下,降至此溫度為止所需時間(冷卻降溫時間)如表4-2所示因低溫泵型號而異。

(6)低溫泵將開始通常運行。

在以下幾種情況下，實際冷卻降溫時間可能會更長。(1)低溫泵內(nèi)受污染，(2)熱負荷大，(3)由于再生操作等低溫泵內(nèi)全變干燥，(4)粗抽完成后、殘留氣體中的He,H2.Ne氣體分壓超過0.1Pa。

低溫泵的運行循環(huán)例

2）.通常運行

待低溫泵進入工作狀態(tài)，按下列步驟對真空室進行抽氣。

(1)真空室內(nèi)的壓力達到最大容許交差壓力以下為止對真空室內(nèi)進行粗抽。(通常采用降至40Pa)。為防止粗抽泵中的油蒸氣向真空室內(nèi)反流，不可以抽至低于13Pa。

(2)打開主閥門對真空室進行精抽。

(3)真空室內(nèi)壓力達到所需壓力后即可進行鍍膜，濺射等作業(yè)。

3）.運行停止

(1)關(guān)閉主閥門。

(2)把低溫泵切換OFF狀態(tài)。

(3)水冷式壓縮機時，根據(jù)需要應(yīng)停止供應(yīng)冷卻水。

(4)待15K冷凝板和80K屏蔽筒的溫度降至室溫后，進行粗抽直到低溫泵內(nèi)的壓力達到10～100Pa為止。

如果在升溫過程中所產(chǎn)生的氣化氣體，使得低溫泵內(nèi)壓力超過大氣壓的情況，必須設(shè)置通氣閥進行放氣，防止泵內(nèi)壓力超過大氣壓。

4）.低溫泵的再生

因低溫泵為貯存式真空泵，當(dāng)泵內(nèi)貯存的氣體量達到時，要求向外排放，使低溫泵恢復(fù)吸附排氣功能。此操作稱為再生(regeneration)。低溫泵排出的極限氣體量稱為排氣容量。當(dāng)下述任意情況出現(xiàn)時，即需進行再生。

(1)15K冷凝板溫度超過20K

(2)80屏蔽筒的溫度超過130K(-5.5mV)

(3)主閥門關(guān)閉過5分鐘后的壓力降不到1.3×10-4Pa以下

(4)排氣性能滿足不了裝置要求

通常的使用過程中，除了排氣量達到排氣容量的情況以外，在裝置維修保養(yǎng)時或節(jié)假日一般都會定期進行再生。

如在節(jié)假日等無人操作情況下進行再生時，可進行自動再生。

4-1.適用于各種用途的再生方法(再生及再生的效率化)

再生操作分以下3個步驟進行。

(1)升溫過程

(2)粗抽過程

(3)冷卻降溫過程

為縮短再生時間應(yīng)縮短升溫時間和粗抽真空時間。為了能夠地進行再生，需升溫至室溫，并通過進行有效粗抽，把吸附劑里的水分除去。冰在0℃ 以上才可融化，想要除去水分，必須把溫度升至0℃以上。

(1)升溫過程的效率化

停止低溫泵運轉(zhuǎn)，把溫度升至室溫的方法有以下幾種。

(1)自然升溫　　　　:只需把低溫泵切換為OFF狀態(tài)后放置即可

(2)再生用加熱帶 　 :把加熱帶裹在泵壁外表進行加熱

(3)注入N2:向低溫泵內(nèi)注入氮氣，使得泵內(nèi)部變熱加快升溫

(4)注入N2+加熱帶 ：(2)、(3)并用

(5)注入熱N2 :向低溫泵內(nèi)注入加熱至70℃的氮氣

(6)注入熱N2+加熱帶 :并用(2)和(5)，升溫時間最短

溫度升至室溫為止的時間，除上述方法外，因泵內(nèi)貯存的氣體量、種類及泵型號不同而有較大差異，因此事先不易預(yù)估其升溫時間。

通常，注入N2法需要60～90分鐘。各種再生方法所需升溫時間如下表所示。

此表中的數(shù)值是把注入N2法所需升溫時間定為1比較得出的。僅可做參考值。

表3：升溫方法及升溫時間(參考值)

圖5：低溫泵的升溫過程

右圖表示低溫泵升溫時的狀態(tài)，大致可分為A，B，C，D4種模式。

A:注入N2+加熱帶(水氣少的情況)

屏蔽筒和擋板的溫度升溫至40℃左右。通過除去泵內(nèi)水氣，可獲得良好的再生效果。

B:只注入N2　(水氣少的情況)

是普遍使用的再生方法。在水氣少時可獲得良好的再生效果。

C:注入N2+加熱帶(排出大量水氣的情況)

在0℃下冰化解為水時升溫會停止一段時間。因使用加熱帶，可縮短融化時間。(基板為玻璃或塑料時建議使用此方法)

D:只注入N2或用自然升溫法排出大量水氣的情況

因加熱量少，冰很難融化為水。在這種狀態(tài)下如進行粗抽，因再生不能充分進行會導(dǎo)致排氣性能降低。向玻璃或塑料進行鍍膜時需要特別注意。

對K熱電偶的起動電壓是否降到0mV請進行確認。必須并用電加熱帶。

尤其是在排出大量水氣時，把再生過程中的K熱電偶的起動電壓記錄下來，判斷處于哪種模式，并確認冰是否融化。

2)粗抽過程

油回轉(zhuǎn)泵通常作為低溫泵的粗抽泵使用。使用油回轉(zhuǎn)泵的情況下，在高壓領(lǐng)域，因存在空氣的粘性流flashing作用，返流量極少。

但壓力低于15Pa時，粘性流flashing作用降低，若粗抽到這個壓力以下會增加油蒸氣返流的危險。

從安全方面考慮愛發(fā)科的低溫泵可以確保在粗抽壓力40Pa下性能正常。

如粗抽至20Pa以下時推薦使用粗抽用過濾器。在使用過濾器時應(yīng)注意以下幾點。

(1)粗抽時間變長、(2)水氣多時很快成飽和狀態(tài)、(3)產(chǎn)生塵埃、(4)需要定期進行活性化。

在低溫泵內(nèi)存在大量水氣的條件下進行粗抽的話，隨著水分蒸發(fā)，熱量會被帶走，會導(dǎo)致水溫降低。

水分少時可以全蒸發(fā)掉。但水分多時，水將結(jié)冰后殘留，從而導(dǎo)致再生不全。

在水分多的情況下，粗抽作業(yè)時如并用加熱帶，可防止結(jié)冰。

且在使用油回轉(zhuǎn)泵排出大量水分時，油會乳化，很難抽至40Pa。

在這種情況下通常需要頻繁更換油。但可采取以下措施。

(1)　使用油含量多，水處理能力強的大型油回轉(zhuǎn)泵。

(2)　使用可對水和油進行分離，裝有排水器的油回轉(zhuǎn)泵。

(3)　使用機械增壓泵降低極限壓力。(但油回轉(zhuǎn)泵的油要定期更換。)

在處理大量玻璃，塑料時，因需要排出大量水氣，故要求事先做好措施。